光譜共焦傳感器

光譜共焦傳感器用于光刻機核心部件定位-confocal

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發布日期:2017-01-16 瀏覽: 次




 
德國米銥公司精密位移傳感器在光刻機制造領域的應用

光刻機的生產集中了光學,機械制造,電子信息,軟件工程等多種精密性和高技術性科學,能夠生產光刻機的廠商也不多。目前,全球市場上能夠實現大規模工業化 生產的高端投影式光刻機設備廠商有ASML,Nikon,Canon,其中ASML以良好的技術優勢占據了高端光刻機市場的60%以上份額,設備的價格折 合人民幣在1000萬元以上。而科研和生產線用的中端和低端光刻機品牌有德國SUSS,美國MYCRO NXQ等國外品牌和韓國臺灣品牌,人民幣價格分布在幾十萬至幾百萬之間。

光刻機是將集成電路等電路圖型投影到不同基片表面的設備。在半導體集成電路,半導體封裝,平板顯示器如LED屏幕,等離子屏幕,以及太陽能電池等生產中是工藝的核心設備。其制作難度高,精度要求嚴格,密集高端技術的重要設備

光刻工藝流程:

包括掩膜臺系統、掩膜輸送系統、投影物鏡系統、硅片傳輸系統、調平調焦系統以及工件臺系統在內的諸多機構均需要極高的定位精度、快速的測量頻率和穩定的測量結果。德國米銥公司精密位移傳感器因其出眾的產品性能,一直被廣泛應用于光刻機的生產制造環節。

德國米銥公司提供的光譜共焦位移傳感器,根據客戶實際使用需求量身定制,滿足客戶對掃描頻率,精度,同步和外形尺寸等一系列特殊要求。目前已經被廣泛使用在國際高端光刻機設備中,用于核心部件的定位和調整。



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